ЭПИструктуры для ЭЛектроники
ENG  |  RUS 
Техническая зона

Техническая зона

Эпитаксиальные установки вынесены за пределы зоны загрузки в техническую зону, где допускается менее высокий уровень чистоты. В этом помещении производится техническое обслуживание эпитаксиальных установок.

Здесь также располагаются силовые генераторы установок и барботеры.

Москва, Зеленоград, улица Академика Валиева 6 (бывший 1-й Западный проезд 12), стр. 2 (на карте)
Телефон/факс: +7 (499) 995 0049
coweb