Метрологическое оборудование

Для контроля параметров кремниевых пластин и эпитаксиальных структур применяются современные общепринятые в индустрии методы и оборудование.

• Контроль частиц (KLA Tencor Surfscan 6220)
• 4-х зондовый измеритель (RS30 Omni Map, ResMap178)
• Измеритель сопротивления растекания (SSM130)
• Измеритель пробивного напряжения эпитаксиального слоя
• CV-измеритель (SSM 495)
• Фурье-спектральный измеритель (ФС1201П)
• Установка контроля качества поверхности (Reflex300, Reflex375)
• Микроскопия («Jenatech», «Ergolux», «Latimet»)

По мере ужесточения требований рынка к качеству эпитаксиальных структур и точности измерений параметров АО «Эпиэл» проводит модернизацию и обновление парка метрологического оборудования.