ЭПИструктуры для ЭЛектроники
ENG  |  RUS 
Метрологическое оборудование

Метрологическое оборудование

Для контроля параметров кремниевых пластин и эпитаксиальных структур применяются современные общепринятые в индустрии методы и оборудование.

  • Контроль частиц (KLA Tencor Surfscan 6220)
  • 4-х зондовый измеритель (RS30 Omni Map, ResMap178)
  • Измеритель сопротивления растекания (SSM130)
  • Измеритель пробивного напряжения эпитаксиального слоя
  • CV-измеритель (SSM 495)
  • Фурье-спектральный измеритель (ФС1201П)
  • Установка контроля качества поверхности (Reflex300, Reflex375)
  • Микроскопия («Jenatech», «Ergolux», «Latimet»)

По мере ужесточения требований рынка к качеству эпитаксиальных структур и точности измерений параметров АО «Эпиэл» проводит модернизацию и обновление парка метрологического оборудования.

Москва, Зеленоград, 1-ый Западный проезд 12, стр. 2 (на карте)
Телефон/факс: +7 (499) 995 0049
coweb